Литографические машины компании ASML, известные своим применением в производстве полупроводников, теперь нашли новое, неожиданное применение благодаря команде IMEC. Они разработали метод создания нанопор — крошечных отверстий, которые в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Эти нанопоры могут служить молекулярными контрольными точками для биомедицинских датчиков, регистрируя электрические сигналы при прохождении через них молекул, таких как вирусы или ДНК. До недавнего времени производство таких нанопор было ограничено и трудоемким. Однако IMEC удалось наладить массовое производство с использованием EUV-литографии, обеспечивая создание высококачественных массивов нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это открывает возможность перехода нанопор из лабораторий в клиники и исследовательские центры, что может привести к революционным изменениям в области диагностики и геномики, а также к удешевлению медицинских тестов и развитию персонализированной медицины.
