Автор: Министерство промышленности и торговли России сообщило о разработке первого отечественного оборудования для изготовления микрочипов. Это является важным шагом в направлении создания полного цикла производства микроэлектроники в стране. Уникальность новинки заключается в том, что заготовки для чипов обрабатываются в вакуумной среде, что значительно повышает качество конечного продукта, отмечает MFD.ru.
Технология была разработана совместно АО «НИИМЭ» и АО «НИИТМ». Новые кластерные установки предназначены для плазмохимического травления и осаждения электронных компонентов, соответствующих проектным нормам до 65 нанометров. Оборудование может обрабатывать кремниевые пластины диаметром до 300 миллиметров, обеспечивая высокую точность операций.
