Автор: Зеленоградский завод «Микрон», который является частью группы «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на создание уникальной для России автоматизированной установки под названием «Лучник». Сумма контракта составляет 1,56 миллиарда рублей. Эта установка имеет ключевое значение для производства микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная задача проекта — разработать отечественный аналог установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. Установка будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, обеспечивая точность наложения до 130 нм и производительность не менее 75 пластин в час. В «Микроне» есть все необходимые ресурсы для реализации проекта, так как завод выступает и как разработчик, и как потребитель, что повысит шансы на успех. Работы должны завершиться к июлю 2029 года, что ставит перед инженерами серьезные вызовы.
