В России создан инновационный принтер для печати микросхем без чернил и растворителей

Учёные Центра испытаний функциональных материалов Института квантовых технологий МФТИ разработали уникальный принтер для аддитивного производства микроэлектронных устройств, который не требует жидких чернил, растворителей или связующих веществ. В отличие от традиционных методов фотолитографии и аддитивных технологий с чернилами, новый принтер синтезирует наночастицы непосредственно в процессе печати с помощью импульсного газового разряда и осаждает их на подложку сфокусированным аэрозольным пучком. Лазерное спекание, осуществляемое наносекундными импульсами зеленого лазера, обеспечивает плотное и однородное соединение частиц без повреждения подложки. Такой подход позволяет избежать длительных циклов сушки и обжига, а также снижает риск загрязнения микросхемы продуктами разложения. Принтер также может работать в режимах создания плазмонных наноструктур для спектроскопии и пористых агломератов для газовых сенсоров. Новый метод значительно упрощает и ускоряет производство электронных компонентов, позволяя «нарисовать» микросхему за считанные минуты. Государственные приемочные испытания завершены успешно, и устройство готово к серийному производству, что открывает перспективы для микроэлектроники, оптоэлектроники, микродатчиков и каталитических структур.